전기 & 조명
코리아텅스텐은 OLED·LED 히터, MOCVD 히터, AlN 히터를 비롯한 산업용 발열 부품을 만듭니다. 텅스텐과 몰리브덴, 탄탈럼으로 도면에 맞춰 가공합니다.
산업용 히터
히터는 방열 음극의 진공관에서 외부로부터 교류 또는 직류의 가열 전류를 흘려 음극을 간접적으로 가열하기 위해 두는 전열선으로, 텅스텐을 주로 사용합니다.
반도체 공정에서는 실리콘 웨이퍼와 직접 닿으면서 웨이퍼 전 영역을 최소 온도 편차로 가열하는 데 쓰입니다. 코리아텅스텐은 이 계열의 히터를 오래 가공해 왔습니다.
만들어 온 것
01
OLED · LED 히터
디스플레이 공정용 발열 부품입니다. 텅스텐과 탄탈럼으로 만들며, 같은 형태를 작은 치수로도 가공합니다.
02
MOCVD · AlN 히터
화합물 반도체 증착 장비와 AlN 세라믹 공정에 들어갑니다. 몰리브덴으로 만듭니다.
03
와이어 · 코일 히터
와이어를 꺾은 뒤 더 얇은 와이어로 코일을 감아 고정합니다. 진공관 음극 가열에도 씁니다.
왜 소재인가
발열체와 차폐가 한 세트다
히터 자체가 아무리 좋아도 열이 밖으로 새면 안쪽은 균일해지지 않습니다. 그래서 열차폐판과 리플렉터를 함께 만듭니다. 몰리브덴 시트를 절단하고 성형해 반사판으로 씁니다.
얇고 가는 히터는 운송 중에도 변형되기 쉽습니다. 그래서 제품의 본을 뜬 전용 케이스를 따로 제작해 고정한 뒤 발송합니다.
형상
코일형 히터
와이어를 꺾고 더 얇은 와이어로 코일을 감아 고정합니다. 소형 장비에 적합합니다.
미니 히터
장비 안쪽에 들어가는 작은 치수의 히터입니다. 몰리브덴과 탄탈럼으로 얇게 가공합니다.
차폐판 · 리플렉터
발열체와 함께 구성해 열을 가둡니다. 판재를 재단해 링 형태로도 만듭니다.
사양 확인
01
가열 대상과 목표 온도
무엇을 어느 온도까지 올리는지가 설계의 출발점입니다.
02
요구 균일도
허용 온도 편차 기준이 있으면 배치 제안에 반영합니다.
03
분위기와 전원
진공·가스 분위기와 전압·전류 조건을 알려주십시오.
04
장비 치수
가열 구역 치수와 배치 도면이 있으면 가장 정확합니다.
온도 편차가 문제라면 제어보다 히터 배치를 먼저 봅니다. 현재 구성을 알려주십시오.
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